首页 > 下载中心 > 数据手册 > Flash > 适用于 5 nm 及以下节点的多重曝光选项：SADP、SAQP、SALELE
| 资料名称 | 适用于 5 nm 及以下节点的多重曝光选项：SADP、SAQP、SALELE |
| 分类 | 数据手册 > Flash |
| 简介 | 鉴于传统的光刻-蚀刻多重曝光工艺存在对齐控制的问题，不论使用哪种光刻技术，自对齐多重曝光工艺都已成为最先进工艺的必要条件。通过详细的分步说明，帮助您了解 SADP、SAQP 和 SALELE 工艺。 |
| 下载次数 | 742次 |
| 下载所需积分 | 0分 |
| 上传者 | ccf |
| 文件名 | 20200916133521.pdf |
| 资料格式 | |
| 资料大小 | 944.96 KB |
| 上传时间 | 2020-09-16 13:35:59 |
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