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资料分类 > 数据手册 > Flash > 适用于 5 nm 及以下节点的多重曝光选项:SADP、SAQP、SALELE

适用于 5 nm 及以下节点的多重曝光选项:SADP、SAQP、SALELE  20200916133521.pdf

资料格式:.pdf 上 传 者: ccf 下载次数:38
上传时间:2020-09-16 13:09:59  资料大小:944.96 KB

说明:

鉴于传统的光刻-蚀刻多重曝光工艺存在对齐控制的问题,不论使用哪种光刻技术,自对齐多重曝光工艺都已成为最先进工艺的必要条件。通过详细的分步说明,帮助您了解 SADP、SAQP 和 SALELE 工艺。

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