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资料名称 借助PAT测试实现半导体器件的零缺陷制造
分类 技术资料 > 测试测量
简介 PAT测试采用零件平均测试(Part Average Testing, PAT)方法将异常零件从总零件中剔除,从而在供应商这一级就改进部件的质量和可靠性。对给定晶圆、批号或被测零件组,PAT方法可以指示总平均值落在6σ之外的测试结果,任何超出给定器件的6σ门限值的测试结果均被视为不合格,并从零件总数中剔除,那些未达到PAT门限值的零件不能付运给客户,这样一来就改进了器件的质量和可靠性。
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上传时间 2007-09-12 16:08:00

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